【時(shí)間】2023年4月6日（周四）14：30 開(kāi)始

【地點(diǎn)】線下講座，9A103會(huì)議室

【主題】結(jié)構(gòu)光照明高精度測(cè)量方法及其應(yīng)用

【主講人介紹】：謝仲業(yè)，拔尖青年博士，特聘副教授，主要從事三維精密測(cè)量研究。

【內(nèi)容簡(jiǎn)介】 基于結(jié)構(gòu)光調(diào)制度解析的三維測(cè)量方法具有高精度、非接觸、高適應(yīng)性等優(yōu)點(diǎn)，在微納器件形貌檢測(cè)領(lǐng)域中應(yīng)用廣泛。 本報(bào)告主要講述結(jié)構(gòu)光照明三維測(cè)量方法的基本原理、發(fā)展趨勢(shì)。在應(yīng)用層面，本報(bào)告聚焦集成電路及新型顯示中的核心部件掩膜缺陷檢測(cè)問(wèn)題，針對(duì)原有二維測(cè)量方法易出現(xiàn)漏檢等問(wèn)題，提出基于結(jié)構(gòu)光調(diào)制結(jié)合橫向掃描的掩膜缺陷檢測(cè)方法，快速獲得掩膜缺陷三維形貌數(shù)據(jù)，為缺陷檢測(cè)提供可靠依據(jù)。

誠(chéng)摯歡迎廣大師生參加。