2023年4月6日下午，智能自動(dòng)化學(xué)科系列學(xué)術(shù)交流會(huì)議在9A103如期舉行。交流會(huì)由秦世引教授主持，吸引了來(lái)自光電學(xué)科的研究生；學(xué)科教師與部分研究生參加本次學(xué)術(shù)報(bào)告會(huì)。

謝仲業(yè)博士分享了主題為“結(jié)構(gòu)光照明高精度測(cè)量方法及其應(yīng)用”的報(bào)告，基于結(jié)構(gòu)光調(diào)制度解析的三維測(cè)量方法具有高精度、非接觸、高適應(yīng)性等優(yōu)點(diǎn)，在微納器件形貌檢測(cè)領(lǐng)域中應(yīng)用廣泛。本報(bào)告主要講述結(jié)構(gòu)光照明三維測(cè)量方法的基本原理、發(fā)展趨勢(shì)。在應(yīng)用層面，本報(bào)告聚焦集成電路及新型顯示中的核心部件掩膜缺陷檢測(cè)問(wèn)題，針對(duì)原有二維測(cè)量方法易出現(xiàn)漏檢等問(wèn)題，提出基于結(jié)構(gòu)光調(diào)制結(jié)合橫向掃描的掩膜缺陷檢測(cè)方法，快速獲得掩膜缺陷三維形貌數(shù)據(jù)，為缺陷檢測(cè)提供可靠依據(jù)。

與會(huì)老師就報(bào)告中如何實(shí)現(xiàn)復(fù)雜微納結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)測(cè)量的實(shí)驗(yàn)方案、結(jié)構(gòu)光掃描技術(shù)產(chǎn)業(yè)化的前景及空域相移方法在光滑曲面結(jié)構(gòu)檢測(cè)的應(yīng)用與謝博士展開(kāi)了深入的探討。

結(jié)構(gòu)光照明高精度測(cè)量方法及其應(yīng)用研究報(bào)告會(huì)

（撰稿：王福杰；初審：李艷霞；復(fù)審：秦世引；終審：胡耀華）