【時間】2023年11月30日（周四）下午 14:30開始

【地點】線下講座，9A103會議室

【主題】MEMS激光成像系統(tǒng)視景最大化的微鏡驅動高性能切換控制技術

【主講人介紹】

秦毅博士，2018年7月加入東莞理工學院，在碩士、博士、以及學院任教期間一直致力于微機電系統(tǒng)控制和微納米器件控制問題的研究。目前，作為主要參與人參與國家自然科學基金項目與廣東省自然科學基金，主持廣東省粵莞聯(lián)合基金青年基金，創(chuàng)新強校重點項目，已發(fā)表SCI/EI論文6篇，申請發(fā)明專利4項，授權1項，獲得西門子認證Process Simulate教員證書。

【內容簡介】

本項目基于側面電極分布與吸合動態(tài)的特征關系，探究參數(shù)不確定和擾動下微納尺度MEMS系統(tǒng)的控制策略，為解決MEMS激光成像系統(tǒng)微鏡吸合特性導致掃描視景范圍偏小及成像質量不高的瓶頸提供一個可參考的研究方案。基于此，凝練出本項目的三個科學性問題：(1)側面電極分布與靜電吸合動態(tài)的特征關系；(2)多模態(tài)切換下的暫態(tài)性能優(yōu)化；(3)分散擴維系統(tǒng)的切換鎮(zhèn)定/跟蹤。項目基于MEMS微鏡驅動原理，提出若干具有潛在優(yōu)勢的側面電極設計方案，建立相應的數(shù)學模型，表征側面電極與吸合動態(tài)特征關系。在此基礎上，探索通過基于多模態(tài)切換/自抗擾的控制方法優(yōu)化系統(tǒng)暫態(tài)性能，形成一體化的驅動/控制設計方法。圍繞解決以上關鍵問題實現(xiàn)以下目標：(1)優(yōu)化驅動設計實現(xiàn)低電壓驅動下的大角度掃描；(2)在低信噪比不確定擾動下尋求高精度定位/跟蹤控制算法；(3)平衡地降低調節(jié)時間和超調量，改善系統(tǒng)的暫態(tài)性能。